[공학저널 강영호 기자] 플라즈마를 이용해 폐가스를 처리하는 기술이 한 단계 발전된 형태로 산업현장에서 활발히 사용되고 있다.
반도체, FPD, Solar cell 등의 산업분야에서는 제조 과정 중 다양한 가스를 사용한다. 사용 후 배출되는 폐가스(waste gas) 중 PFC 가스는 직온난화 지수가 매우 높은 가스 주종 중 하나다.
기존의 플라즈마를 이용한 폐가스 처리기술은 플라즈마의 발생과정 중 많은 전력소모와 플라즈마 발생기의 짧은 전극수명으로 한계를 갖고 있었다. 더욱이 플라즈마 발생용 전원장치 또한 전력 변환 효율과 그 경제성 면에서 많은 문제가 발생하기도 했다.
하지만 최근 업그레이드된 플라즈마 폐가스 처리 기술은 AC Rotationg Arcing을 통해 얻은 플라즈마를 이용해 폐가스를 처리한다.
이는 필라멘트 직류 가열 방식에 의해 기존 DC 방식의 플라즈마 발생이 아닌 고속 스위칭 AC 전원을 이용했다는 점에서 차별점을 지닌다. 기구적, 전기적으로 Rotating Arc를 자연스럽게 유도한 기술이다.
Anode 전극에 열에너지가 집중돼 전극 마모가 일어나는 기존 DC 방식의 문제점을 원천적으로 억제하기 때문에 전극수명이 최소 2~3배 이상 늘어나게 된다.
또한 이 새로운 기술은 폐가스 분해를 위한 플라즈마 열에너지 분산 면에서도 차이를 보인다.
플라즈마 열에너지를 reaction chamber 내부에 고르게 분산, 기존 방식에 비해 전력 사용량을 30% 절감하면서도 처리 효율은 95% 이상 확보할 수 있는 기술이다.
이 기술은 한국기계연구원의 플라즈마 발생 기술과 (주)파워팩터스의 플라즈마 전원장치 기술의 융합으로 탄생했다. 기계연구원과 파워팩터스가 개발 단계에서부터 상호 기술 협의와 상용화에 필요한 요소들을 철저히 분석한 후 개발한 기술로, 그 활용성, 기존 방식과의 차별화 면에서 비교 우위의 기술로 평가받고 있다.
파워팩터스는 전력변환‧전력 제어산업 분야 중 플라즈마 발생 전원장치 제조를 주 사업영역으로 하는 기업이다.
현재 플라즈마 폐가스 처리 기술의 핵심 구성요소인 전원장치의 안정화에 힘쓰고 있으며, 반도체 제조 공정 중 발생하는 폐가스 정화 처리장치에 발생기와 전원장치를 1차로 공급하고 있다.
향후 파워팩터스는 폐가스 정화처리장치 제작 산업에 핵심 모듈을 공급하고 또한 다양한 기술적 보완을 거쳐 더욱더 진보된 제품을 생산할 계획을 갖고 있다.
파워팩터스 최운선 대표이사(사진)는 “다양한 플라즈마 발생장치에 맞는 매칭은 다양한 경험과 도전이 필요한 분야”라며 “우리 기업은 전력 전자 기술을 바탕으로 전기를 변환 변조하는 분야 산업, 특히 플라즈마 전원장치 전문회사로 거듭날 수 있도록 노력을 아끼지 않을 것”이라고 전했다.
그는 이어 “많은 것을 잘하는 것보다 한 가지 분야에서 최고가 되는 것이 중요하다고 생각한다”며 “우직하게 한곳을 오래 바라보고 해당분야의 전문가 그리고 전문회사가 되는 것이 목표”라고 덧붙였다.
